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大負載晶圓機器人


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產品詳情

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  • 項目 內容
    驅動方式 R/Z/Theta軸 低壓伺服
    工作行程 R軸(伸出) >700mm   (手臂長度260mm)
    Z(升降) 300mm
    Theta(旋轉) ±170°
    最高速度 R軸(伸出) 700mm/sec
    Z(升降) 500mm/sec
    Theta(旋轉) 130deg/sec
    搬運振動值 0.5g
    重量 50kg
    碰撞停止功能 機械手具有碰撞停止功能
    功能IO信號 功能IO/急停/安全光幕等
    通訊方式/調
    試控制軟件/
    各軸速度可調節(jié)
    Ethernet/手操器、軟件均可實現(xiàn)
    軟件開發(fā)包 C#版本,滿足對設備的各種控制需求
    安全認證/CE SEMI認證
    負載 ≤10kg
    重復定位精度 伸縮±0.1mm;回轉軸≤±0.02deg
    潔凈度 ISO Class 1
    噪聲 80dB
    電源 單相AC200~240V/9A 50/60HZ LN GND
    氣源 -40-60Kpa
  • 大負載晶圓機器人Z300R260.pdf   

    大負載晶圓機器人Z300R260.DWG   

    大負載晶圓機器人Z300R260.STEP